检漏设备-北京科仪创新真空(在线咨询)-氦气检漏设备

真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和极少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。真空箱内设两个工件接头。真空箱采用快速接头与工件的接口间柔性软管连接，方便快捷，大大提高了操作效率。

真空箱开门机构：采用自动侧开门方式。

真空泵组：真空泵组是系统检漏需具备的必要条件，检漏设备，是真空获得的重要工具。本系统真空机组前级泵采用单级旋片式泵组，主抽罗茨泵采用罗茨泵，性能稳定可靠，在高真空下抽速更快，检漏系统配制采用机械泵为前级泵。

真空测量装置：采用进口真空计，使测量更加准确。

管道阀门：真空管道均采用不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了必要的物质基础。执行机构：真空箱开关门采用直线导轨滑动系统，手动送工件和自动或（手动）开关门可靠、安全。

1.2 充氦气回收单元

充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。

充氦气回收部分主的组成结构中，高、低压罐由具有专业资质的压力容器生产商制造，并配备安全阀、压力传感器，适时检测高低压罐压力，安全可靠。系统具有氦气压力监测及氦气补充功能，当系统检测到高压氦气罐内的氦气浓度或压力低于设定值时，则自动打开阀门从低压罐补充高纯氦气。

压缩机采用知名品牌，蒸发器氦气检漏设备，质量安全可靠。

氦浓度仪采用知名品牌，能根据需要检测高压罐内氦气浓度。真空计，真空阀门等关键部件均采用优质配置，详见配置清单。

1.3 检漏单元

真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。

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真空箱式氦检漏系统【科仪创新】

（售后服务）

2、保修期满后，供方将以优惠价格向用户提供备品备件，并对设备提供终身有偿技术

和维修服务；

3、设备安装调试时，氦气检漏设备，对用户进行技术培训，培训内容包括设备的工作原理、操作、安全、维修、质控等。

4、接到用户报修后一小时内做出响应，需到现场维修的24小时之内到达现场。

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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理】

真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板

注：①-④-⑦由需方人员自行完成。

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系统工作气路示意图如下图所示：